パーフルオロエラストマー「ELTAS」
業界別ソリューション

半導体製造装置

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高い耐熱性や耐薬品性、耐プラズマ性を備えており、半導体製造工程のような厳しい環境下でも高い信頼性を発揮します。クリーンルームで生産を行っているため、CVD(化学気相成長)やエッチング、洗浄などさまざまな半導体製造工程における重要部品の材料として安心して使用できます。

■主な特性

  • 高耐熱性
  • 耐薬品性
  • 化学的安定性
  • 耐プラズマ性

■主な用途

  • 半導体製造装置向けシール部品(プラズマエッチング、CVDなど)
  • ゲートバルブ向けシール部品
  • 真空ポンプ向けシール部品

航空宇宙

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超高温や低温、真空といった過酷な環境下でも優れた性能を発揮します。油や燃料、強力な溶剤などに対して高い耐薬品性を備えているため、航空機や宇宙船の部品用途において信頼性の高いシール性を維持します。

■主な特性

  • 高耐熱性
  • 耐薬品性

■主な用途

  • ジェットエンジン、補助エンジン、タービンなどのシール部品
  • 燃料ポンプ、燃料配管などのシール部品

石油&ガス

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高い耐熱性を持ち、250℃を超える連続高温環境下でも安定した性能を維持します。また、天然ガスなど活性の強い媒体や高圧環境に対する耐性を備えているため、石油・ガスの掘削や精製プロセスなどの過酷な環境下でも長い期間にわたって使用できます。

■主な特性

  • 高耐熱性
  • 耐薬品性
  • 耐スチーム性
  • 化学的安定性

■主な用途

  • 石油掘削装置向けシール部品
  • パイプコネクター、パイプラインバルブ、ポンプなどのシール部品

化学プラント

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酸やアルカリ、溶剤、腐食性の高い化学物質に対して優れた耐性を有しており、原材料をさまざまな製品へと化学的に変化させる化学プラントに広く使用できます。また、耐熱性にも極めて優れており、一般的なエラストマーでは対応が困難な高温環境下でも安定した性能を発揮します。

■主な特性

  • 耐薬品性
  • 高耐熱性
  • 化学的安定性

■主な用途

  • ポンプ、バルブ、配管などのシール部品
  • メカニカルシール

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